為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對晶片進行預處理。預處理第一步常是脫水烘烤，在真空或干燥氮氣的機臺中，以150～200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分，在此溫度下，晶片表面大約保留了一個單分子層的水。涂膠后，晶片須經過一次烘烤，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時間越短或溫度越低會使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對比度會有降低。實際上軟烘工藝需要通過優化對比度而保持可接受感光度的試湊法用實驗確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對晶片進行高溫烘烤，稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應；激發化學增強光刻膠PAG產生的酸與光刻膠上的保護基團發生反應并移除基團使之能溶解于顯影液。 干燥的物品如干燥后改變為重量輕，體積小（為小顆粒狀），應在工作室內抽真空口加隔阻網。湖州防止氧化真空烘箱定制

真空干燥箱和一般的烘箱區別真空箱：是在負壓下工作，氧含量少，可以減少或杜絕氧化反應。負壓下溶劑的沸點降低，避免高溫干燥損壞物料品質。若溶劑為有害或有價值的氣體可以冷凝回收。缺點：溫度均勻性不好控制，如需控制均勻性必須做多層層板且單獨加熱。也有真空箱體帶風機，先真空再充氮氣的加熱的。這樣可以減少氧化，且通過鼓風保證均勻性。但是沒有辦法降低溶劑沸點。一般烘箱：是通過電加熱再加鼓風，用熱空氣換熱使物料干燥。通常較真空干燥比造價低，運行成本低。防止氧化真空烘箱監控系統防止潮濕氣體進入真空泵，造成真空泵故障。

從保溫效果來講，聚氨酯的耐溫與絕熱效果要好于纖維棉，一般聚氨酯可以使箱體內的高溫在大幾個小時內保持穩定，值得一提的是，聚氨酯的高效絕熱性能，可有效地防止箱體外溫度過高燙傷操作員。纖維棉材質的干燥箱在高溫時，只能靠溫度控制器不停的控制與調節，保持箱內溫度的穩定，這樣增加了風機與控制器的工作強度，從而降低了干燥箱的使用壽命。再從后期維護來講，由于聚氨酯是整個注塑到箱體內的，后期維修時特別繁瑣，維修前需要將聚氨酯全部掏出來，修好后再注塑進去。而纖維棉不會這么麻煩，操作簡單。從市場上講，纖維棉的價格非常便宜，且可滿足大部分的保溫要求，運用廣，杭州宏譽智能科技建議：纖維棉越細，厚度越大，保溫質量越好。干燥箱的密封一般都是采用抗老化的硅橡膠，密封效果很好。

真空烘箱，是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備。它的工作原理是利用真空泵進行抽氣抽濕，使工作室內形成真空狀態，降低水的沸點，加快干燥的速度。真空烘箱能在較低溫度下得到較高的干燥速率，熱量利用充分，主要適用于對熱敏性物料和含有容劑及需回收溶劑物料的干燥。在干燥前可進行消毒處理，干燥過程中不得有任何雜物混入，本干燥器屬于靜態真空干燥器，故干燥物料的形成不會損壞。加熱方式有：蒸汽、熱水、導熱油、電熱。真空箱外殼必須有效接地，以保證使用安全。

    真空干燥箱日常使用和維護：1、產品出廠前都經過嚴格的測試，一般不要進行修改，如使用時的環境惡劣，環境溫度超出適宜范圍，會引起溫度顯示值與箱內實際溫度誤差，如超出技術指標范圍的，可以參照溫度控制器操作說明按所需進行修正。2、儀器在正常工作狀態下，如打開箱門時間過長，關上箱門后即使箱內溫度有些變動，這也是正常現象。3、除維修外，不能拆開左側箱體蓋以免損壞電器控制系統。4、放氣閥橡皮塞若旋轉困難，可在內涂上適量油脂潤滑。5、真空泵不能長時期工作，因此真空度達到干燥物品要求時，應先封閉真空閥，再封閉真空泵電源，待真空度小于干燥物品要求時，再打開真空閥及真空泵電源，繼續抽真空，這樣可延長真空泵使用壽命。6、干燥的物品如濕潤，則在真空箱與真空泵之間比較好加進過濾器，防止濕潤氣體抽進真空泵，造成真空泵故障。7、真空干燥箱經多次使用后，會產生不能抽真空的現象，此時應更換門封條或調整箱體上的門扣伸出間隔來解決。真空箱干燥溫度高于200度時，有可能會產生慢漏氣現象，此時拆開箱體背后蓋板用內六角板手擰松加熱器底座，調換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。8、真空干燥箱應經常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應的化學溶液擦拭。 放氣閥橡皮塞若旋轉困難，可在內涂上適量油脂潤滑。杭州內置泵體真空烘箱適用范圍

儲存、加熱、試驗和干燥都是在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環境里進行，所以不會氧化。湖州防止氧化真空烘箱定制

金屬整體熱處理大致有退火、正火、淬火和回火四種基本工藝。退火→將工件加熱到適當溫度，根據材料和工件尺寸采用不同的保溫時間，然后進行緩慢冷卻(冷卻速度慢)，目的是使金屬內部組織達到平衡狀態，獲得良好的工藝性能和使用性能，或者為進一步淬火作組織準備。正火→將工件加熱到適宜的溫度后在空氣中冷卻，正火的效果同退火相似，只是得到的組織更細，常用于改善材料的切削性能，也有時用于對一些要求不高的零件作為熱處理。淬火→將工件加熱保溫后，在水、油或其它無機鹽、有機水溶液等淬冷介質中快速冷卻。淬火后鋼件變硬，但同時變脆。回火→為了降低鋼件的脆性，將淬火后的鋼件在高于室溫而低于710℃的某一適當溫度進行長時間的保溫，再進行冷卻，退火、正火、淬火、回火是整體熱處理中的“四把火”，其中的淬火與回火關系密切，常常配合使用，缺一不可。湖州防止氧化真空烘箱定制