微泰的傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥是安裝在半導體 PVD CVD 設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統,起著將工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的關鍵作用,就像一條溝槽。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時造成的真空壓力變化,使腔室內的真空壓力得以穩定維持。負責門控半導體晶圓轉移的傳輸閥、轉換閥、輸送閥、轉移閥分為 I 型和 L 型兩種。其產品范圍包括多種尺寸規格,如 32 x 222、46 x 236、50 x 336、56 x 500 等。維護前使用周期可達 100 萬次,響應時間為 2 秒,并可根據客戶要求定制法蘭。這些轉移閥產品有鋁制或不銹鋼制兩種,用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導體系統和隔離工藝室。I 型的特點是葉片能在垂直方向上快速移動,保證腔室壓力完美維持,它采用具有 LM 導向系統和單連桿的內部機構,確保高耐用性和長壽命。L 型轉移閥產品則設計緊湊,易于維護。I 型和 L 型轉移閥在閘門開啟和關閉過程中能極大限度地減少振動,且對溫度變化非常穩定,能確保較長的使用壽命。此外,它們即使長時間使用,產生的顆粒也很少,能避免晶圓缺陷和主器件污染。微泰不斷創新,在壓力控制和控制閥制造方面持續努力,專注于真空閘閥的研發。閘閥的結構緊湊,閥門剛性好,通道流暢,流阻數小,密封面采用不銹鋼和硬質合金,使用壽命長。CVD閘閥TRANSFER VALVE
微泰半導體閘閥具有獨特的特點:其插板閥主滑閥采用球機構方式,并且在量產工藝設備上經過了性能驗證。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,陶瓷與金屬接觸驅動時不會產生顆粒。目前已向中國臺灣的 Micron、UMC、AKT,新加坡的 Micron、Global Foundries,馬來西亞的英菲尼亞半導體,日本的 Micron、三星半導體等眾多設備廠批量供貨,且品質得到認可,同時也完成了對半導體 Utility 設備和批量生產設備的驗證。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅動會產生大量顆粒不同,微泰半導體閘閥采用鋼陶瓷球,在與金屬摩擦時不會損壞,且金屬與陶瓷球之間不會產生 Particle。半永久板簧(SUS 鋼板)的應用確保了閥門驅動的同步性,同時還采用了固定球導向器和鋼陶瓷。微泰半導體閘閥廣泛應用于 Evaporation(蒸發)、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)、Coating(涂層)、Etch(蝕刻)、Diffusion(擴散)、CVD(化學氣相沉積)等設備上,可替代 HVIA閘閥、VAT 閘閥。此外,該閘閥由上海安宇泰環保科技有限公司提供。定制閘閥插板閥金屬材料高壓閘閥主要有:碳鋼閥門、合金鋼閥門、不銹鋼閥門、鑄鐵閥門、鈦合金閥門、銅合金閥門等。
微泰半導體閘閥與其他類型閘閥相比,具有以下一些優勢:1. 高精度控制:能更精確地調節流體流量。2. 適應半導體環境:對溫度、真空等條件有更好的適應性。3. 低顆粒產生:減少對晶圓等的污染。4. 長壽命和可靠性:確保穩定運行,減少維護成本。5. 多功能應用:可適用于多種半導體工藝設備。微泰半導體閘閥被廣泛應用于 Evaporation(蒸發)、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)、Coating(涂層)、Etch(蝕刻)、Diffusion(擴散)、CVD(化學氣相沉積)等設備上,可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥。該閘閥由上海安宇泰環保科技有限公司提供。
微泰主要產品有1、-手動鎖定閥:操作鎖定按鈕關閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現象的源頭:2、特殊閥門:全金屬配件構成,由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成;3、三位閥:半開功能的壓力控制閥。氣動閘閥:?產品范圍:1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數:25萬次?響應時間:0.2秒~3秒;手動(鎖定)閘閥?產品范圍:1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數:25萬次;專門用閘閥:產品范圍:1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數:25萬次,響應時間:0.2秒客戶指定的法蘭,可安裝角閥;三位閘閥:產品范圍:2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數:20萬次?響應時間:0.2秒~3秒;有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業績,可替代HVA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環保科技有限公司。微泰轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統。
微泰半導體閘閥的特點:已向中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備,設備廠批量供貨,已得到品質認可,已完成對半導體Utility設備和批量生產設備的驗證。1,采用陶瓷球機構,抗沖擊和震動,保證使用25萬次,檢修方便,較低維護成本。2,無Particle(顆粒)產生,采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產。3,屏蔽保護:屏蔽式保護功能,閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm,可防止粉末侵入閥內,壽命為半永久性。4,保護環:Protecrion Ring通過流速上升設計防止粉末凝固,并通過打磨(研磨)工藝防止粉末堆積。微泰半導體閘閥應用于? Evaporation(蒸發)? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設備上。可替代HVA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環保科技有限公司。閘板有剛性閘板和彈性閘板,根據閘板的不同,閘閥分為剛性閘閥和彈性閘閥。定制閘閥插板閥
閘閥通過閥座和閘板接觸進行密封,通常密封面會堆焊金屬材料以增加耐磨性。CVD閘閥TRANSFER VALVE
微泰半導體閘閥的工作原理主要是通過閘板的升降來控制流體的通斷。當閘板升起時,閘閥打開,允許流體通過;當閘板降下時,閘閥關閉,阻止流體通過。在具體工作中,它利用各種機構和設計來實現精確的控制和可靠的密封,以滿足半導體設備中對工藝控制的要求。微泰半導體閘閥被廣泛應用于 Evaporation(蒸發)、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷)、Coating(涂層)、Etch(蝕刻)、Diffusion(擴散)、CVD(化學氣相沉積)等設備上,可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業績。該閘閥由上海安宇泰環保科技有限公司提供。CVD閘閥TRANSFER VALVE