抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。一般單位用L/S和m3/h來表示。是彌補漏氣率的參數。不難理解，理論下抽一個相同體積的容器，為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度，而抽氣量小的真空泵很慢甚至無法抽到我們想要的真空度? 因為管路或者容器始終不可能做到不漏氣，而抽氣量大的彌補了漏氣所帶來的真空度下降的因素，所以，大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議，在計算出理論抽氣量的情況下，我們盡量選擇高一級的抽氣量的真空泵。對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定。VP0660*2真空泵經銷商

低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著我國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是我國真空泵制造業發展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整的系列，并研究開發出各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。國外干泵市場的不斷增長，其主要驅動來自于半導體行業、化學工業、薄膜產業的迅速發展。在日本，半導體行業已全部用干式真空泵代替油封式機械泵。真空泵機組價位羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵。

微型真空泵的介質溫度問題。根據通過泵的介質氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據微型泵出故障后產生后果的嚴重性而定，完全根據自己的要求。好的品的平均無故障連續運行時間都大于1000小時，有的高到數千小時。特別注意，這項參數是在滿負荷、不間斷的運行狀態下測定的，是比較惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續運行，該數值會高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術實力，從產品外觀上可以看出一些，如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當的情況下重量較重等。根據產品價格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。

羅茨真空泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。微型真空泵的介質溫度問題。根據通過泵的介質氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。

在真空泵選型前，我們必須弄清楚幾個基礎概念：真空，理論上是指容積里面不含有任何的物質。（現實中是不存在真正的真空的）通常把容器內氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的都稱之為真空狀態。真空度表示處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用壓力值來表示。實際應用中，真空度，通常有真空和相對真空兩種說法。從真空表所讀得的數值稱真空度。真空度數值是表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值，從表上表示出來的數值又稱為表壓強，業界也稱為極限相對壓強，即： 真空度=大氣壓強-壓強(大氣壓強一般取101325Pa，水環式真空泵極限壓強3300Pa；旋片式真空泵極限壓強約10Pa)。水環真空泵能獲得的極限真空為2000~4000Pa。VP0940T真空泵供應報價

新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。VP0660*2真空泵經銷商

真空泵在工作第1個月內，經100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時更換。真空泵在寒冬季節使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉動部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保管。對于真空泵的維護保養一定要做好，不然真空泵的使用效果會減少。VP0660*2真空泵經銷商