對于真空泵，不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。高真空一側的真空泵能達到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機組。這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。水環(huán)真空泵串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa?；炇矣谜婵毡霉┴浌?/p>

有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨真空泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。目前，國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨真空泵進展很快，技術上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。吸氣真空泵價位干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美目前已經(jīng)成為微電子、半導體等行業(yè)選擇真空獲得設備。

對真空泵的工作蒸汽及其干度的研究：蒸汽壓力偏低及壓力波動均對真空泵的能力有較大影響，因此蒸汽壓力不應低于要求的工作壓力，但所用真空泵結構設計已定型，過多提高蒸汽壓力并不會增加抽氣量及真空度。另外，要確保鍋爐供給的蒸汽壓力穩(wěn)定，建議用一臺鍋爐專門給蒸汽噴射泵提供工作蒸汽，這樣蒸汽壓力就不會出現(xiàn)波動，真空泵性能穩(wěn)定。對循環(huán)冷卻水要求的研究：冷卻水供量不足，冷凝器會發(fā)熱，氣流聲音變大，真空度迅速下降，甚至蒸汽會返入抽氣管。

微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴重性而定，完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無故障連續(xù)運行時間都大于1000小時，有的高到數(shù)千小時。特別注意，這項參數(shù)是在滿負荷、不間斷的運行狀態(tài)下測定的，是比較惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續(xù)運行，該數(shù)值會高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術實力，從產(chǎn)品外觀上可以看出一些，如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修。

在實際應用中，微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的：一類是排氣很順暢，直通大氣；另一類是排氣阻力較大，比如在排氣管路上有閥、細小彎管、大阻尼傳感器、非專門用的消音器、在液面以下排氣、氣體排往密閉或半密閉容器等。在現(xiàn)代設計制造中，把面對不同排氣條件的微型真空泵區(qū)別對待。"排氣口允許較大阻力Por值"這一參數(shù)就是標定泵的排氣能力，讓我們可以用嚴格的技術手段確定選型是否恰當。簡單地說，對于排氣阻力大的系統(tǒng)，我們的選型范圍是：FM系列、FAA系列、PCF系列；對于排氣阻力小的系統(tǒng)，選型范圍是：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，可抽除易燃、易爆的氣體。吸氣真空泵價位

由于真空應用技術的飛躍發(fā)展，水環(huán)真空泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視?；炇矣谜婵毡霉┴浌?/p>

羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時在中真空范圍也有較強的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，所以可使前級泵易于處于高流量狀態(tài)；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級泵的預抽負擔。這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力，保證了設備的使用效率?；炇矣谜婵毡霉┴浌?/p>