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真空計基本參數
  • 品牌
  • CHUNY
  • 型號
  • MEMS皮拉尼、MEMS電容等
真空計企業商機

真空計可以按照測量原理、結構特點以及使用范圍等進行分類。其中,按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規和熱電偶規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,經改進后的熱陰極電離規(如Bayard-Alpert規)可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。皮拉尼真空計測量范圍?皮拉尼真空計供應商

皮拉尼真空計供應商,真空計

皮拉尼真空計在多個領域有著廣泛的應用,包括但不限于:

化學工業:用于監測化學反應過程中的真空度變化。電子與微電子領域:用于半導體制造和微電子器件生產過程中的真空度測量。氣相沉積:用于監測氣相沉積過程中的真空度變化。電子束焊接:用于電子束焊接過程中的真空度測量。真空冶金:用于真空冶金過程中的真空度監測。此外,皮拉尼真空計還常用于監測從大氣到高真空區域開始的泵送過程(如渦輪分子泵或其他高真空泵接管該區域)、在真空冶金行業(在受控環境中制造的高純度合金)中確保不同薄膜涂層系統的工藝一致性和優化等方面。 南京真空計設備廠家電容真空計在哪些領域有應用?

皮拉尼真空計供應商,真空計

辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。

辰儀金屬電容真空計是完全對標MKS的金屬電容真空計而開發的一款金屬膜片真空計,已實現全系列部件國產化,產品測量精度接近MKS金屬電容真空計。辰儀金屬電容真空計已中芯國際等國內FAB廠上機測試,填補了MKS對國內斷供的影響。

真空計按測量原理分類

靜態液位真空計測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。壓縮式真空計測量原理:在U型管的基礎上應用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計測量,然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。熱傳導真空計測量原理:利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關的原理制成。示例:電阻真空計、熱偶真空計等。熱輻射真空計測量原理:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關的原理。 為什么真空計讀數不變?

皮拉尼真空計供應商,真空計

陶瓷薄膜真空計主要由陶瓷基片、金屬薄膜、電極、電路板和外殼等部分組成。其中,陶瓷基片是支撐薄膜和電極的基底,具有優異的機械性能和化學穩定性;金屬薄膜作為電容的感測元件,對真空度變化具有高度的敏感性;電極則與薄膜形成電容結構;電路板則負責將電容變化轉換為可讀的電信號;外殼則用于保護內部組件免受外界環境的干擾。

高精度:陶瓷薄膜真空計具有較高的測量精度,能夠滿足對真空度精確控制的要求。高穩定性:由于采用了陶瓷材料和薄膜傳感技術,陶瓷薄膜真空計具有長期的穩定性,能夠在各種環境條件下保持測量精度。寬測量范圍:陶瓷薄膜真空計通常具有較寬的測量范圍,能夠覆蓋從低真空到高真空的不同壓力區域。響應速度快:陶瓷薄膜真空計對真空度變化的響應速度較快,能夠實時反映真空度的變化。耐腐蝕性強:陶瓷材料具有優異的耐腐蝕性能,使得陶瓷薄膜真空計能夠在腐蝕性氣體環境中保持測量精度。 電容薄膜真空計的校準注意事項有?廣東大氣壓真空計設備廠家

電容真空計具有結構簡單、測量范圍廣、響應速度快、穩定性好等優點。皮拉尼真空計供應商

電容薄膜真空計

測量原理:根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成。把加于電容薄膜上的壓力變化轉化為膜片間距離的變化,即電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號。因此,其測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關。特點:直接測量式的、全壓型的真空計,可作為低真空測量(0.01~100Pa)工作副標準的一種真空儀器。材料選擇:感壓膜片是電容薄膜真空計的中心部件,宜選用Inconel600或3J53作為感壓膜片材料,陶瓷膜片則更適用于被測壓力較大的場合。同時,為保證薄膜的平整度及承載能力,增加其穩定性,往往使薄膜先受均勻的張力,然后再在邊緣加以固定。 皮拉尼真空計供應商

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