常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關。相對真空計:如熱傳導真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數與氣體種類有關。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關。 真空計的維修與保養。安徽高質量真空計公司
不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,主要包括以下幾類:
利用氣體動力學效應的真空計:如皮拉尼電阻規和熱電偶規,它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。皮拉尼電阻規是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應的真空計:如熱陰極電離規和冷陰極電離規,它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。 溫州金屬真空計生產企業真空計的讀數通常是不變的,這是因為它們通常使用一個固定的參考壓力來校準儀器。
金屬薄膜真空計是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導特性來測量壓力的真空計。以下是對金屬薄膜真空計的詳細介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質來測量壓力。具體來說,有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當氣體分子撞擊金屬薄膜時,會產生微小的壓力變化,這種變化會影響薄膜振蕩的固有頻率,從而間接測量壓力大小。這種方法通常用于高真空環境下的測量,因為在此環境下,氣體分子對薄膜的撞擊作用更加明顯。熱傳導原理:金屬薄膜真空計還可以利用真空中的熱傳導特性來測量氣壓。當薄膜暴露在低壓氣氛中時,會發生熱量損失,損失的熱量與氣壓成正比。通過測量熱量損失,可以計算出真實的氣壓值。這種方法通常涉及一個加熱元件(如熱陰極)和一個金屬薄膜,加熱元件發射的電子在真空中運動并撞擊薄膜,從而產生熱量損失。
按測量原理分類
電離真空計測量原理:利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產生的離子流隨電力變化的原理。示例:熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、放射性電離真空計等。放電管指示器測量原理:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度,一般能作為定性測量。粘滯真空計測量原理:利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。示例:振膜式真空計、磁懸浮轉子真空計等。場致顯微儀測量原理:以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。分壓力真空計測量原理:利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。示例:四極質譜計、回旋質譜計、射頻質譜計等。 真空計如何快速選型?
電容薄膜真空計
測量原理:根據彈性薄膜在壓差作用下產生應變而引起電容變化的原理制成。把加于電容薄膜上的壓力變化轉化為膜片間距離的變化,即電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號。因此,其測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關,與氣體成分無關。特點:直接測量式的、全壓型的真空計,可作為低真空測量(0.01~100Pa)工作副標準的一種真空儀器。材料選擇:感壓膜片是電容薄膜真空計的中心部件,宜選用Inconel600或3J53作為感壓膜片材料,陶瓷膜片則更適用于被測壓力較大的場合。同時,為保證薄膜的平整度及承載能力,增加其穩定性,往往使薄膜先受均勻的張力,然后再在邊緣加以固定。 皮拉尼真空計的測量范圍取決于所使用的具體型號和規格。四川金屬真空計設備公司
電離真空計的校準的注意事項有哪些?安徽高質量真空計公司
金屬薄膜真空計
性能特點高靈敏度:金屬薄膜真空計通常具有較高的靈敏度,能夠準確測量微小的壓力變化。寬測量范圍:雖然具體范圍取決于金屬薄膜的材質和厚度,但金屬薄膜真空計通常具有較寬的測量范圍,適用于從低真空到高真空的不同環境。穩定性好:在適當的維護下,金屬薄膜真空計具有良好的穩定性,能夠長時間保持測量精度。抗污染能力強:相對于某些其他類型的真空計,金屬薄膜真空計對污染的敏感性較低,能夠在一定程度上抵抗污染物的干擾。 安徽高質量真空計公司