真空計的歷史沿革1643年:意大利物理學家E.托里拆利進行大氣壓力實驗,開創了定量測量真空程度的先河。19世紀中葉:英國發明家Bourdon發明了形變真空計,是工業上應用*****的***型粗真空計之一。1858年:德國玻璃工,在真空度需粗略指示場合仍應用十分普遍。1874年:,解決了低真空和高真空的***壓力的測量,是目前**基本的基準***型真空計。1906年:M.皮喇尼發明電阻式真空計,解決了工業生產中的低真空測量問題。,是一種典型的***型粗真空真空計。1916年:,解決了高真空的測量問題,是目前實際應用非常普遍的高真空真空計。1937年:,適用于有大量放氣和經常暴露于大氣的真空設備的測量,在真空冶金和機械工業中得到***應用。1940年:,是典型的測量氣體組分及分壓強的真空計。 皮拉尼真空計測量范圍?河南陶瓷真空計原廠家
金屬薄膜真空計是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導特性來測量壓力的真空計。以下是對金屬薄膜真空計的詳細介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質來測量壓力。具體來說,有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當氣體分子撞擊金屬薄膜時,會產生微小的壓力變化,這種變化會影響薄膜振蕩的固有頻率,從而間接測量壓力大小。這種方法通常用于高真空環境下的測量,因為在此環境下,氣體分子對薄膜的撞擊作用更加明顯。熱傳導原理:金屬薄膜真空計還可以利用真空中的熱傳導特性來測量氣壓。當薄膜暴露在低壓氣氛中時,會發生熱量損失,損失的熱量與氣壓成正比。通過測量熱量損失,可以計算出真實的氣壓值。這種方法通常涉及一個加熱元件(如熱陰極)和一個金屬薄膜,加熱元件發射的電子在真空中運動并撞擊薄膜,從而產生熱量損失。重慶高精度真空計設備廠家如何減少電磁干擾對皮拉尼真空計的影響?
氣體種類:特別是熱傳導式和電離式真空計,測量值會隨氣體的種類變化,通常需要對不同氣體進行校準。污染和老化:真空計的探頭在長期使用中可能會受到污染或老化,尤其是電離式真空計中的熱陰極,需要定期維護。環境溫度:真空計的性能會受到環境溫度的影響,尤其是皮拉尼真空計,其電阻元件對溫度變化敏感,可能需要在恒溫環境下進行精確測量。綜上所述,真空計是一種精密測量真空度的關鍵儀器,在多個領域都發揮著重要作用。選擇合適的真空計并正確使用和維護,對于確保工藝的精度和效率至關重要。
真空計可以按照測量原理、結構特點以及使用范圍等進行分類。其中,按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規和熱電偶規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,經改進后的熱陰極電離規(如Bayard-Alpert規)可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。如何判斷電容真空計是否出現故障?
陶瓷薄膜真空計是一種高精度、高穩定性的真空測量儀器,它結合了陶瓷材料的優異性能和薄膜傳感技術的敏感特性。以下是對陶瓷薄膜真空計的詳細介紹:
基本原理:陶瓷薄膜真空計的工作原理基于電容變化的原理。它通常包含一個陶瓷基片,上面沉積有一層或多層金屬薄膜作為電容的一個極板,而另一個極板則與薄膜保持一定的間隙。當外界真空度發生變化時,陶瓷薄膜會發生微小的形變,導致與另一個極板之間的電容值發生變化。通過測量這種電容變化,并經過適當的電路處理,就可以得到真空度的值。 皮拉尼真空計的測量原理和特點有?重慶高精度真空計設備廠家
直空計使用過程中需要注意的事項?河南陶瓷真空計原廠家
不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量,主要包括以下幾類:
利用氣體動力學效應的真空計:如皮拉尼電阻規和熱電偶規,它們利用氣體在流動過程中產生的熱效應或電效應來測量真空度。皮拉尼電阻規是利用電阻與溫度之間關系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同,當給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應的真空計:如熱陰極電離規和冷陰極電離規,它們通過測量氣體分子在電離過程中產生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。 河南陶瓷真空計原廠家