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真空計(jì)基本參數(shù)
  • 品牌
  • CHUNY
  • 型號(hào)
  • MEMS皮拉尼、MEMS電容等
真空計(jì)企業(yè)商機(jī)

CRS系列陶瓷電容薄膜真空計(jì)是上海辰儀測(cè)量技術(shù)有限公司開發(fā)的壓力真空計(jì),該系列產(chǎn)品具有高精度、溫度補(bǔ)償?shù)奶攸c(diǎn),可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能,一鍵歸零功能和繼電器設(shè)定點(diǎn)調(diào)整提高了產(chǎn)品性能,且易于操作;陶瓷的耐腐蝕性提供了較好的零點(diǎn)穩(wěn)定性,包括突發(fā)的氣壓變化環(huán)境中。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性(EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。

體積小巧,易于集成,可以安裝在相對(duì)狹小的空間,便于在復(fù)雜的機(jī)器上安裝使用。此外,該裝置的數(shù)字信號(hào)處理支持快速、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量,這對(duì)保持工藝質(zhì)量至關(guān)重要。 部分真空計(jì)對(duì)被測(cè)氣體有要求。南京真空計(jì)多少錢

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電容薄膜真空計(jì)

測(cè)量原理:根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成。把加于電容薄膜上的壓力變化轉(zhuǎn)化為膜片間距離的變化,即電容的變化,再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號(hào)。因此,其測(cè)量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無關(guān)。特點(diǎn):直接測(cè)量式的、全壓型的真空計(jì),可作為低真空測(cè)量(0.01~100Pa)工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器。材料選擇:感壓膜片是電容薄膜真空計(jì)的中心部件,宜選用Inconel600或3J53作為感壓膜片材料,陶瓷膜片則更適用于被測(cè)壓力較大的場(chǎng)合。同時(shí),為保證薄膜的平整度及承載能力,增加其穩(wěn)定性,往往使薄膜先受均勻的張力,然后再在邊緣加以固定。 上海大氣壓真空計(jì)原廠家皮拉尼真空計(jì)是如何實(shí)現(xiàn)的?

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結(jié)構(gòu)組成

MEMS電容真空計(jì)主要由真空規(guī)管和測(cè)量電路兩部分組成。真空規(guī)管包含彈性薄膜、上下電極、支撐結(jié)構(gòu)等組件。測(cè)量電路則用于對(duì)電容變化進(jìn)行處理,得到真空度的值。此外,MEMS電容真空計(jì)還可能包含一些輔助組件,如溫度補(bǔ)償器、校準(zhǔn)電路等,以提高測(cè)量精度和穩(wěn)定性。

性能特點(diǎn)

高靈敏度:MEMS電容真空計(jì)具有較高的靈敏度,能夠準(zhǔn)確測(cè)量微小的真空度變化。寬測(cè)量范圍:通過優(yōu)化設(shè)計(jì)和制造工藝,MEMS電容真空計(jì)可以實(shí)現(xiàn)較寬的測(cè)量范圍,滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。穩(wěn)定性好:MEMS電容真空計(jì)具有良好的穩(wěn)定性,能夠在長時(shí)間內(nèi)保持測(cè)量精度。功耗低:由于采用MEMS技術(shù)制造,MEMS電容真空計(jì)的功耗較低,適用于低功耗應(yīng)用場(chǎng)景。易于集成:MEMS電容真空計(jì)體積小、重量輕,易于與其他微電子器件集成,實(shí)現(xiàn)高度集成化和智能化。

皮拉尼真空計(jì)利用惠斯通電橋的補(bǔ)償原理,通過測(cè)量一個(gè)發(fā)熱體與一個(gè)接收發(fā)熱體之間的熱傳導(dǎo)程度來判斷氣體的壓力。具體來說,當(dāng)加熱燈絲(一般為鉑絲)被恒定電流加熱時(shí),其溫度會(huì)升高。對(duì)于給定大小的電流,加熱絲的溫度取決于通過傳導(dǎo)和對(duì)流向周圍介質(zhì)(即氣體)散熱的速率。在真空或低壓環(huán)境中,加熱絲的熱導(dǎo)率(即將熱量散發(fā)給周圍介質(zhì)的能力)會(huì)降低,導(dǎo)致加熱絲變得更熱。這種溫度變化會(huì)引起導(dǎo)線電阻的變化,這種變化可以通過惠斯通電橋來測(cè)量。當(dāng)氣體分子密度發(fā)生變化時(shí),熱量從金屬絲傳遞到氣體會(huì)受到影響。這種熱損失取決于氣體類型和壓力,使金屬絲保持在一定溫度下所需的能量也相應(yīng)變化。因此,可以通過測(cè)量這種能量變化來間接測(cè)量真空壓力。皮拉尼真空計(jì)是一種測(cè)量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。

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如何選擇真空計(jì)?考慮測(cè)量范圍與精度:不同的真空計(jì)有不同的測(cè)量范圍,需要根據(jù)實(shí)際需求選擇。例如,熱陰極電離真空計(jì)適用于高真空環(huán)境(10-11 mbar),而熱阻式真空計(jì)則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內(nèi)的測(cè)量。精度是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的另一個(gè)重要因素。需要根據(jù)物體不同的尺寸、物理量等來選擇精度要求更高的真空計(jì)。考慮被測(cè)氣體與環(huán)境:部分真空計(jì)對(duì)被測(cè)氣體有要求。例如,熱陰極電離真空計(jì)的陰極易受過量空氣及泵油蒸氣等污染物的損害,因此需要考慮被測(cè)氣體是否會(huì)對(duì)真空計(jì)造成損傷。部分真空計(jì)會(huì)影響被測(cè)環(huán)境。例如,壓縮式真空計(jì)在測(cè)量時(shí)要壓縮被測(cè)氣體,這可能會(huì)使水蒸氣凝結(jié),從而影響被測(cè)真空環(huán)境。哪些品牌的真空計(jì)質(zhì)量更好?南京mems真空計(jì)供應(yīng)商

皮拉尼真空計(jì)在哪些領(lǐng)域有應(yīng)用?南京真空計(jì)多少錢

皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。

根據(jù)測(cè)量方式的不同,皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時(shí),燈絲的溫度會(huì)發(fā)生變化,從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測(cè)量,并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當(dāng)真空壓力變化時(shí),燈絲的溫度和電阻值也會(huì)相應(yīng)變化。通過測(cè)量通過燈絲的電流變化,可以間接測(cè)量真空壓力。 南京真空計(jì)多少錢

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