陶瓷薄膜真空計利用陶瓷材料的壓阻效應(yīng)或電容變化來測量真空度。具體來說,當陶瓷材料受到外力(如真空度變化引起的壓力)作用時,其電阻率或形狀會發(fā)生變化。通過測量這種電阻率的變化或電容的變化,可以精確計算出當前的真空度。高精度:陶瓷薄膜真空計具有高精度和高穩(wěn)定性,能夠提供準確的真空度數(shù)據(jù)。高穩(wěn)定性:由于陶瓷材料的形變恢復(fù)無遲滯,使得陶瓷薄膜真空計具有優(yōu)異的穩(wěn)定性。抗腐蝕、抗氧化:氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩(wěn)定性使得陶瓷薄膜真空計具有抗腐蝕、抗氧化能力,適用于多種惡劣環(huán)境。無選擇性:對被測氣體無選擇性,適用于多種氣體的真空度測量。皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。真空計設(shè)備公司
由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境,只能根據(jù)不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據(jù)真空度的不同,又可以將真空泵分為以下幾種類型:(1)低真空(粗真空)泵:真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型:旋片式真空泵、水環(huán)真空泵、往復(fù)式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵:真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型:螺桿泵、油封機械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵:真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型:滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵:真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型:旋轉(zhuǎn)活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵等。*注釋:真空度:真空度是指處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度。若所測設(shè)備內(nèi)的壓強低于大氣壓強,其壓力測量需要真空表。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。計算方法:真空度=大氣壓強-***壓強。單位:帕斯卡(Pa)、千帕(KPa)、兆帕(MPa)、大氣壓(atm)、毫米汞柱(mmHg)、巴(bar)、托(Torr)等浙江mems電容真空計生產(chǎn)廠家選擇真空計的標準是什么?
旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大,正處于吸氣過程;而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小,正處于排氣過程;居中的空間B的容積也逐漸減小,正處于壓縮過程。由于空間A的容積逐漸增大(即膨脹),氣體壓強降低,泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強,因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時,即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,***與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時,排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級泵。
電容薄膜真空計:屬彈性元件真空計,其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個小室,即參考壓強室和測量室。測量低壓強(P<100帕)時,參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當測量室壓強不同時,薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應(yīng)改變,通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強值。電容薄膜真空計可直接測量氣體或蒸氣的壓強,測量值與氣體種類無關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤,如對不同壓強范圍采用不同規(guī)頭,可得到較高精度。它可用于高純氣體監(jiān)測、低真空精密測量和壓強控制,也可用作低真空測量的副標準。部分真空計對被測氣體有要求。
選擇適合的真空計對確保測量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運行至關(guān)重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關(guān)鍵因素:1. 測量范圍真空度需求:根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選擇滿足精度要求的真空計,高精度應(yīng)用需選擇高精度型號。分辨率:確保分辨率足夠高,能檢測到微小壓力變化。3. 響應(yīng)時間快速響應(yīng):對壓力變化敏感的應(yīng)用需選擇響應(yīng)時間短的真空計。穩(wěn)定性:在快速變化環(huán)境中,選擇穩(wěn)定性好的真空計。4. 環(huán)境適應(yīng)性溫度范圍:確保真空計能在工作溫度范圍內(nèi)正常運行。耐腐蝕性:在腐蝕性氣體環(huán)境中,選擇耐腐蝕材料制成的真空計。5. 氣體類型氣體種類:不同氣體對真空計測量有影響,選擇適合測量特定氣體的真空計。氣體清潔度:在污染氣體環(huán)境中,選擇不易受污染的真空計。溫度對皮拉尼真空計測量結(jié)果有何影響?河北高質(zhì)量真空計
皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。真空計設(shè)備公司
真空計的安裝步驟可能因型號和規(guī)格的不同而有所差異,但通常包括以下幾個基本步驟:檢查設(shè)備:在安裝前,需要檢查真空計及其相關(guān)配件是否完整、無損壞,并確保其符合使用要求。選擇安裝位置:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,因此應(yīng)適當選擇真空計的安裝位置,以確保測量結(jié)果的準確性。同時,應(yīng)確保安裝位置便于操作和觀察。連接電纜:將真空計的電源線電纜和規(guī)管電纜分別插入后面板的相應(yīng)插座上,并確保連接牢固可靠。對于裸規(guī)安裝,還需將紅線(紅夾子)接在電子加速極上,其他兩根線(黑夾子)接在燈絲上,屏蔽線接在離子收集極上。接地處理:為確保安全,應(yīng)將真空計的外殼進行接地處理。這通常是通過將導(dǎo)線連接在機箱的接地端子上來實現(xiàn)的。調(diào)試與校準:在安裝完成后,需要對真空計進行調(diào)試和校準,以確保其測量結(jié)果的準確性。調(diào)試時,應(yīng)按照說明書中的要求進行操作,并注意觀察真空計的顯示情況。真空計設(shè)備公司