真空計是一種用于測量真空度或低于大氣壓的稀薄氣體的氣壓的儀器。以下是真空計的主要特點:1.多種測量原理真空計有多種測量原理,如電容式、電離式、熱傳導式等。不同的測量原理具有不同的特點和適用范圍,用戶可以根據具體需求選擇合適的真空計。2.易維護一些真空計的設計使得其易于維護和校準。例如,有些真空計的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時能夠方便地更換新的傳感器,從而延長真空計的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發展,真空計正朝著小型化和集成化的方向發展。小型化的真空計更加便于攜帶和安裝,而集成化的真空計則能夠與其他設備或系統進行集成,實現更加智能化的監測和控制。然而,真空計也存在一些局限性,如某些類型的真空計易被污染、測量范圍相對較窄等。因此,在選擇和使用真空計時,需要綜合考慮其優缺點以及具體的應用需求。選擇真空計的原則有哪些?四川金屬真空計生產廠家
皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼,內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數字化的工作。根據測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過加熱燈絲的電流保持恒定。當真空壓力改變時,燈絲的溫度會發生變化,從而導致燈絲的電阻值發生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測量,并轉換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當真空壓力變化時,燈絲的溫度和電阻值也會相應變化。通過測量通過燈絲的電流變化,可以間接測量真空壓力。天津mems電容真空計生產廠家真空計的讀數通常是不變的,這是因為它們通常使用一個固定的參考壓力來校準儀器。
熱傳導真空計:利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數,故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍,采取特殊措施可擴大測量范圍。不過,熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關,而且易受熱絲表面污染、環境溫度等因素影響,故準確度不高,只作粗略的真空指示用。粘滯真空計:利用在真空中轉動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發生運動衰減的現象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中,用旋轉磁場把鋼球加速到400轉/秒,然后停止加速,任其自然衰減,用電子學方法精確測量其轉速衰減率,從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度,吸氣、放氣速率小,壓強指示受氣體種類影響小,如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數受振動影響較大,測量時間也較長。因此,它可作為1~10^-4帕范圍內的副標準真空計或用作標準傳遞真空計。
利用帶電粒子效用類真空計通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規和冷陰極電離規。a)熱陰極電離規通過加熱陰極使其發射電子,進而與氣體分子發生碰撞并電離。電離產生的離子流隨壓力變化,通過測量離子流的變化可以推算出真空中氣體分子的密度,進而得到壓力大小。熱陰極電離規能夠提供高精度的真空度測量,常用于科研和高精度工業領域。b)冷陰極電離規同熱陰極一樣,也是利用電離氣體分子收集離子電流的原理,不同的是,冷陰極利用磁控放電電離氣體分子產生離子。在測量過程中無需加熱陰極,因此具有較低的能耗和更高的可靠性。它特別適用于需要長時間連續工作的場合,如大型科研設備和工業生產線。其測量精度和穩定性也相當出色。電容真空計通過測量電容變化來推算真空度,而熱傳導式真空計則利用氣體分子的熱傳導性質來測量。
皮拉尼真空計是一種基于熱傳導原理的真空測量儀器,用于低真空到中真空范圍的測量。其工作原理是通過測量氣體分子對熱絲的熱傳導變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導:金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子傳導。壓力變化:氣體壓力越高,分子越多,熱傳導越強,金屬絲溫度下降。電阻變化:金屬絲溫度變化導致電阻變化,通過測量電阻變化間接測量壓力。主要特點寬量程:適用于低真空到中真空范圍(通常為10^-1 Pa到10^5 Pa)。快速響應:對壓力變化反應迅速。結構簡單:易于制造和維護。成本較低:相比其他真空計,價格較為經濟。真空測量的特點有哪些?山東金屬真空計設備廠家
選擇真空計時需要綜合考慮多個因素。四川金屬真空計生產廠家
6. 麥克勞真空計麥克勞真空計,通過壓縮氣體測量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。原理:利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優點:精度高,無需校準。缺點:操作復雜,響應慢。應用:實驗室高真空校準。7. 質譜儀質譜儀通過分析氣體成分來間接測量壓力,適用于超高真空和極高真空范圍。(1)四極質譜儀原理:利用四極電場分離氣體離子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?12 Torr 到 10?? Torr。優點:可分析氣體成分。缺點:成本高,操作復雜。應用:超高真空和極高真空系統。四川金屬真空計生產廠家