4. 電容式真空計電容式真空計通過測量電容變化來間接測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)電容薄膜真空計原理:利用薄膜在壓力作用下的形變引起電容變化來測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、響應快。缺點:成本較高。應用:中真空和高真空測量。5. 振膜式真空計振膜式真空計通過測量振膜頻率變化來測量壓力,適用于中真空和高真空范圍。(1)石英晶體真空計原理:利用石英晶體振膜在壓力作用下的頻率變化測量壓力。測量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優點:精度高、穩定性好。缺點:成本較高。應用:高精度真空測量。電容真空計有哪些優點?皮拉尼真空計生產企業
真空測量的特點測量壓力范圍寬,105~10-14Pa。2大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~10Pa時,可直接測單位面積所受的力。3采用電測技術,反應迅速,靈敏度高,可實現自動化。4大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分,否則會造成很大誤差。5測量精度不高。選擇真空計的原則在要求的壓力區域內有要求的精度。2被測氣體是否會損傷真空計;真空計可否會給被測氣體狀態帶來影響。3靈敏度與氣體種類有關否。4可否連續指示、電氣指示以及反應時間長短。5穩定性、復現性、可靠性和壽命如何。6還要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規格如何。7是否具備耐腐蝕性。特殊的真空介質中,如強酸、鹽堿環境下,要求真空計具備一定的耐腐蝕性能。8是否耐高溫。高溫的工藝環境下,對真空計中的敏感及電子元器件有較高的要求,不能發生失效、漂移情況的發生。溫州大氣壓真空計生產企業如何選擇真空計才具有更高的性價比?
真空計的特點7.多種信號輸出模擬信號:如4-20mA、0-10V,便于與控制系統連接。數字信號:如RS485、Modbus,支持數字化管理和遠程監控。8.可靠性與穩定性長期穩定:高質量真空計具有長期穩定性,減少校準頻率。抗干擾:在復雜環境中,真空計能抵抗電磁干擾和其他干擾因素。9.成本效益經濟實惠:部分真空計成本較低,適合預算有限的應用。長期成本低:低維護和校準需求,降低長期使用成本。10.廣泛應用工業應用:如半導體制造、真空鍍膜、真空爐等。科研實驗:如高能物理、材料科學、空間模擬等。日常生活:如真空包裝、醫療設備等。總結真空計具有寬量程、高精度、快速響應、環境適應性強、多種測量原理、易于安裝與維護、多種信號輸出、高可靠性、成本效益高和廣泛應用等特點。這些特點使其在工業、科研和日常生活中發揮重要作用。
3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。(1)熱陰極電離真空計原理:利用熱陰極發射電子電離氣體分子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?1? Torr 到 10?3 Torr。優點:精度高、測量范圍廣。缺點:熱陰極易損壞,需要較高維護。應用:高真空和超高真空系統。(2)冷陰極電離真空計原理:利用冷陰極放電電離氣體分子,通過離子電流測量壓力。測量范圍:10?12 Torr 到 10?3 Torr。優點:無需熱陰極,壽命長。缺點:啟動時間較長,穩定性稍差。應用:高真空和超高真空系統。如何校準電容真空計?
利用氣體動力學效用類真空計測量與真空相連的容器表面受到的壓力作用而產生的彈性變形或其他力學性能變化來推算真空度的。典型**有波爾登規(Bourdon)和薄膜電容規。a)波爾登規利用彈性元件(如波紋管)在壓力作用下的變形來測量真空度。當氣體壓力作用在波紋管上時,波紋管會產生變形,這種變形可以通過機械傳動機構轉化為指針的偏轉,從而指示出真空度的大小。b)電容薄膜真空計利用薄膜的形變與電容的變化關系來測量真空度。當氣壓發生變化時,薄膜會相應地產生形變,這種形變會導致電容的改變,進而通過測量電容的變化量來推算出真空度的數值。薄膜電容規具有結構簡單、響應迅速、測量范圍廣等特點。真空計原理及測量范圍是?南京高精度真空計設備廠家
真空計如何快速選型?皮拉尼真空計生產企業
陶瓷薄膜真空計應用領域半導體制造:用于工藝過程中的真空度監控。真空鍍膜:確保鍍膜質量。科研實驗:用于高精度真空測量。醫療設備:如電子顯微鏡、質譜儀等。優缺點優點:高精度、耐腐蝕、穩定性好、量程寬。缺點:成本較高,對安裝和使用環境要求嚴格。維護與保養定期校準以確保精度。保持清潔,避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩定性,在多個領域得到廣泛應用,盡管成本較高,但其性能優勢明顯。皮拉尼真空計生產企業