玻璃基微流控芯片的精密刻蝕與鍵合工藝：玻璃因其高透光性、化學穩定性及表面平整性，成為光學檢測類微流控芯片的理想材料。公司采用濕法刻蝕與干法刻蝕結合工藝，在玻璃基板上實現1-200μm深度的微流道加工，配合雙面光刻對準技術，確保流道結構的三維高精度匹配。刻蝕后的玻璃芯片通過高溫鍵合（300-450℃）或陽極鍵合實現密封，鍵合強度可達5MPa以上，耐受高壓流體傳輸（如100kPa壓力下無泄漏）。典型應用包括熒光顯微成像芯片、拉曼光譜檢測芯片，其光滑的玻璃表面可直接進行生物分子修飾，用于DNA雜交、蛋白質吸附等反應。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板（如4英寸晶圓）的均勻刻蝕難題，通過優化刻蝕液配比與等離子體參數，將流道深度誤差控制在±2%以內，滿足前端科研與工業檢測對芯片一致性的嚴苛要求。多樣化微流控芯片加工案例覆蓋數字 PCR、單分子檢測、POCT 等多個領域。上海微流控芯片dna富集

在微流控芯片定制加工方面，公司已建立完善的PDMS芯片標準化產線，以自研產品單分子系列PDMS芯片產線為基礎，建立了完善的PDMS硅膠來料、PDMS芯片加工、PDMS成品質檢、測試小試產線。涵蓋硅膠來料處理、精密模具成型、成品質檢等環節，可批量交付單分子級檢測芯片、液滴生成芯片等產品。其微流控解決方案廣泛應用于毛細導流模擬、高通量測序反應腔構建、地質勘探流體分析等多元化場景，彰顯“MEMS+醫療”技術跨界融合的創新價值。通過工藝標準化與定制化能力的深度協同，正推動微納加工技術從實驗室原型向產業化應用的高效轉化。天津微流控芯片產業化梯度涂層設計實現微流控芯片內細胞定向遷移，用于一些研究。

微流控芯片技術采用先進的MEMS和半導體跨界創新策略，是生命科學和生物醫學領域的新興科學。該技術能夠有效控制液體的物理化學反應。由于其微型縮小方法，它帶來了高質量交換和高通量。它主要用于藥物發現、蛋白質組學、藥物篩選、臨床分析和食品創新。目前，各種類型的微流控芯片用于各項領域。與傳統方法相比，微流控芯片技術在耗時和所需樣品和試劑量方面具有很大優勢。在藥物研究中，微流控創新可以與其他各種檢測設備集成，例如PCR，ESI-MS，MALDI-MS和GC-MS等。

腸道微流控芯片（GoC）：GoC系統模仿人類腸道的生理學。它解釋了腸道的主要功能，即消化、營養物質的吸收、腸神經的調節、體內廢物的排泄、以及伴隨微生物共生體的人體腸道的病理生理學。GoC模型主要用于精確復制具有所需微流控參數的腸道體內環境。Kim等人研究了當人類GoC被腸道微生物群落占據時腸道的蠕動運動。通過對齊兩個微通道（上部和下部）來設計微型器件，該微通道雕刻在PDMS層上，該PDMS是通過基于MEMS的微納米制造工藝制作的模板翻模制備而來，且PDMS層由涂有ECM的多孔柔性膜隔開。如圖所示，該裝置被模仿人類腸道生理學的人腸上皮細胞包裹。這樣的系統可以模擬人類腸道在某些特定因素下的蠕動運動，即流體流速。微流控芯片的前景是什么？

生物芯片表面親疏水涂層工藝的精細控制：親疏水涂層是調節微流控芯片內流體行為的關鍵技術，公司通過氣相沉積、溶液涂覆及等離子體處理等方法，實現表面接觸角在30°-120°范圍內的精細調控（精度±2°）。在液滴生成芯片中，疏水涂層流道配合親水微孔，可實現單分散液滴的穩定生成，液滴尺寸變異系數<5%；在細胞培養芯片中，親水性表面促進細胞貼壁，結合梯度涂層設計實現細胞遷移方向控制，用于腫瘤細胞侵襲研究。涂層材料包括全氟聚醚（PFPE）、聚二甲基硅氧烷（PDMS）及親水性聚合物，通過表面能匹配與化學接枝技術，確保涂層在酸堿環境（pH2-12）與有機溶劑中穩定存在超過200小時。該技術解決了復雜流道內流體滯留、氣泡形成等問題，提升了芯片在生化反應、藥物篩選等場景中的可靠性，成為微納加工領域的核心競爭力之一。支持 0.5-5μm 微米級尺度微流控芯片加工，滿足單分子檢測等高精需求。河北微流控芯片發展趨勢

微流控芯片技術用于毛細管電泳分離。上海微流控芯片dna富集

標準化PDMS芯片產線：公司自建的PDMS芯片產線采用全自動化模塑工藝，涵蓋原料混煉、真空脫泡、高溫固化（80℃/2 h）及等離子親水化處理等關鍵環節。產線配備高精度模具（公差±2 μm）與光學檢測系統，可批量生產單分子檢測芯片、液滴生成芯片等產品。例如，液滴芯片通過流聚焦結構生成單分散乳液（CV<3%），通量達10,000滴/秒，用于單細胞RNA測序時，細胞捕獲效率超過95%。此外，PDMS芯片的表面改性技術（如二氧化硅涂層）可降低生物污染，在長期細胞培養中保持表面親水性超過30天。該產線已為多家IVD企業提供定制化服務，例如開發的核酸快檢芯片，將樣本到結果的時間縮短至30分鐘，靈敏度達98%，成為基層醫療機構的主要檢測工具。上海微流控芯片dna富集