MEMS技術的主要分類:生物MEMS技術是用MEMS技術制造的化學/生物微型分析和檢測芯片或儀器,統稱為Bio-sensor技術,是一類在襯底上制造出的微型驅動泵、微控制閥、通道網絡、樣品處理器、混合池、計量、增擴器、反應器、分離器以及檢測器等元器件并集成為多功能芯片。可以實現樣品的進樣、稀釋、加試劑、混合、增擴、反應、分離、檢測和后處理等分析全過程。它把傳統的分析實驗室功能微縮在一個芯片上。生物MEMS系統具有微型化、集成化、智能化、成本低的特點。功能上有獲取信息量大、分析效率高、系統與外部連接少、實時通信、連續檢測的特點。國際上生物MEMS的研究已成為熱點,不久將為生物、化學分析系統帶來一場重大的革新。MEMS四種ICP-RIE刻蝕工藝的不同需求。重慶個性化MEMS微納米加工
MEMS超表面對光電特性的調控:
1.超表面meta-surface對相位的調控:相位是電磁波的一個重要屬性,等相位面決定了電磁波的傳播方向,一副圖像的相位則包含了其立體信息。通過控制電磁波的相位,可以實現光束偏轉、超透鏡、超全息、渦旋光產生、編碼、隱身、幻像等功能。
2.超表面meta-surface對電磁波多個自由度的聯合調控:超表面可以實現對電磁波相位、振幅、偏振等自由度的同時調控。比如,通過對電磁波的相位和振幅的聯合調控,可以實現立體超全息,通過對電磁波的相位和偏振的聯合調控,可以實現矢量渦旋光;通過對電磁波的相位和頻率的聯合調控,可以實現非線性超透鏡等功能。
3.超表面meta-surface對波導模式的調控:可將“超構光學”的概念與各類光波導平臺相結合,將超構表面或超構材料集成在各類光波導結構上,則可以在亞波長尺度下對波導中的光信號進行靈活自由的調控。利用上表面集成了超構表面的介質光波導結構,可以實現多功能的光耦合、光探測、偏振/波長解復用、結構光激發、波導模式轉化、片上光信號變換、光學神經網絡、光路由等應用 。 江蘇代理MEMS微納米加工基于柔性PI材料的MEMS太赫茲超表面器件在military project領域和生物科技上應用非常有前景。
大部分用戶對汽車、打印機內的MEMS無感,這些器件與用戶中間經過了數層中介。但是可穿戴/直接與用戶接觸,提升消費者科技感,更受年輕用戶喜愛,例子可見Fitbit等健身手環。該領域重要的主要有三大塊:消費、健康及工業,我們在此主要討論更受關注的前兩者。消費領域的產品包含之前提到的健身手環,還有智能手表等。健康領域,即醫療領域,主要包括診斷,監測和護理。比如助聽、指標檢測(如血壓、血糖水平),體態監測。MEMS幾乎可以實現人體所有感官功能,包括視覺、聽覺、味覺、嗅覺(如Honeywell電子鼻)、觸覺等,各類健康指標可通過結合MEMS與生物化學進行監測。
國內政策大力推動MEMS產業發展:國家政策大力支持傳感器發展,國內MEMS企業擁有好的發展環境。我國高度重視MEMS和傳感器技術發展,在2017年工信部出臺的《智能傳感器產業三年行動指南(2017-2019)》中,明確指出要著力突破硅基MEMS加工技術、MEMS與互補金屬氧化物半導體(CMOS)集成、非硅模塊化集成等工藝技術,推動發展器件級、晶圓級MEMS封裝和系統級測試技術。國家政策高度支持MEMS制造企業研發創新,政策驅動下,國內MEMS制造企業獲得發展良機。MEMS的超透鏡是什么?
MEMS四種刻蝕工藝的不同需求:
1.體硅刻蝕:一些塊體蝕刻些微機電組件制造過程中需要蝕刻挖除較大量的Si基材,如壓力傳感器即為一例,即通過蝕刻硅襯底背面形成深的孔洞,但未蝕穿正面,在正面形成一層薄膜。還有其他組件需蝕穿晶圓,不是完全蝕透晶背而是直到停在晶背的鍍層上。基于Bosch工藝的一項特點,當要維持一個近乎于垂直且平滑的側壁輪廓時,是很難獲得高蝕刻率的。因此通常為達到很高的蝕刻率,一般避免不了伴隨產生具有輕微傾斜角度的側壁輪廓。不過當采用這類塊體蝕刻時,工藝中很少需要垂直的側壁。
2.準確刻蝕:精確蝕刻精確蝕刻工藝是專門為體積較小、垂直度和側壁輪廓平滑性上升為關鍵因素的組件而設計的。就微機電組件而言,需要該方法的組件包括微光機電系統及浮雕印模等。一般說來,此類特性要求,蝕刻率的均勻度控制是遠比蝕刻率重要得多。由于蝕刻劑在蝕刻反應區附近消耗率高,引發蝕刻劑密度相對降低,而在晶圓邊緣蝕刻率會相應地增加,整片晶圓上的均勻度問題應運而生。上述問題可憑借對等離子或離子轟擊的分布圖予以校正,從而達到均鐘刻的目的。 MEMS優勢很大,應用場景十分豐富。陜西MEMS微納米加工設計
MEMS的單分子免疫檢測是什么?重慶個性化MEMS微納米加工
主要由傳感器、作動器(執行器)和微能源三大部分組成,但現在其主要都是傳感器比較多。
特點:1.和半導體電路相同,使用刻蝕,光刻等微納米MEMS制造工藝,不需要組裝,調整;2.進一步的將機械可動部,電子線路,傳感器等集成到一片硅板上;3.它很少占用地方,可以在一般的機器人到不了的狹窄場所或條件惡劣的地方使用4.由于工作部件的質量小,高速動作可能;5.由于它的尺寸很小,熱膨脹等的影響小;6.它產生的力和積蓄的能量很小,本質上比較安全。 重慶個性化MEMS微納米加工