微流控分析芯片當初只是作為納米技術的一個補充，在經歷了大肆宣傳及冷落的不同時期后，卻實現了商業化生產。微流控分析芯片在美國被稱為“芯片實驗室”（lab-on-a-chip），在歐洲被稱為“微整合分析芯片”（micrototal analytical systems），隨著材料科學、微納米加工技術（MEMS）和微電子學所取得的突破性進展，微流控芯片也得到了迅速發展，但還是遠不及“摩爾定律”所預測的半導體發展速度。現在阻礙微流控技術發展的瓶頸仍然是早期限制其發展的制造加工和應用方面的問題。國內微流控芯片制造商有哪些？MEMS微流控芯片的微納米加工

皮膚微流控芯片（SoC）：SoC是一種生物工程模型，其中皮膚組織在微流控系統內培養，其足以模擬天然人類皮膚的3D微環境。為了制造微型化的SoC模型，將人體皮膚組織整合到微流控平臺上，以便它可以模擬人體皮膚的體內條件。傳統的2D模型無法重建體內發現的多重3D細胞間和細胞間相互作用。然而，這可以在3DSoC模型的幫助下進行研究。表皮和真皮層，Lee等人使用3D生物打印的角質形成細胞和成纖維細胞來創建人體皮膚組織。該系統通常主要有三層：底層，中間層和上層。下層包含微血管通道。多孔膜位于中間/中間層，將上層和下層分開，而上層包括培養室和側向氣動通道。SoC的基本設置如圖所示。微血管通道為內皮單層的形成提供了機械支持。山東微流控芯片公司微流控芯片技術用于藥物篩選。

微流控芯片在石英和玻璃的加工中，常常利用不同化學方法對其表面改性，然后可以使用光刻和蝕刻技術將微通道等微結構加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異，主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr，再用甩膠機均勻的覆蓋一層光刻膠；2)利用光刻掩模遮擋，用紫外光照射，光刻膠發生化學反應；3)用顯影法去掉已曝光的光膠，用化學腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案；4)用適當的刻蝕劑在基片上刻蝕通道；5)刻蝕結束后，除去光刻膠，打孔后和玻璃蓋片鍵合。標準光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環境，無法實現快速批量生產。

肺組織微流控器官芯片（LoC）：這是另一種在微型設備上的人肺的3D工程復雜模型。它基本上構成了人類的肺和血管。該系統可能在很大程度上有助于肺部的生理研究。此外，它還有助于研究肺泡囊中吸收的納米顆粒的特征，并進一步模擬病原體引發的炎癥反應。此外，它可用于測試由環境toxin和氣溶膠產品引起的影響。LoC使研究人員能夠研究apparatus或人體的體外生理作用，因此，它被用于不同肺部疾病醫療方式的戰略實施。在組織設計中，微流控創新通過提供氧氣，營養和血液，在復雜組織的發展方面發揮著重要作用。它為肺細胞開發了一個微環境來研究生理活動。Wyss研究所設計了各種肺部微芯片，以演示典型LoC的工作。這些微芯片還能夠模擬肺水腫。利用微流控芯片對cancer標志物檢測。

利用微流控芯片對tumour標志物檢測：通過檢測tumour特異性生物標志物含量可以在早期得知患病信息，也可用于監測抗tumour藥物治療效果。在tumour檢測領域，Regiart等研制一種用于tumour生物標志物檢測的超敏感便攜式微流控設備，總檢測時間只需20 min，具有穩定性高、攜帶方便、敏感性高等優點。由于tumour的分子機制復雜，不能依靠單一生物標志物來診斷，同時測定一組生物標志物可顯著提高診斷的特異性和準確性。Jones等人設計了一款可同時檢測8種標志物的微流控免疫芯片，用于診斷前列腺cancer并區分是否具有侵襲性，以減少患者不必要的活檢和手術。腎組織臟微流控芯片的應用。陜西微流控芯片發展趨勢

單分子免疫微流控生物芯片是微流控技術在超高靈敏度生物檢測領域的一大應用。MEMS微流控芯片的微納米加工

L-Series包括嚴格的機械平臺，集成了顯微鏡技術、微定位和計量學等方法。可應用于芯片電場的微型電位計（Microport）也作為其開發的副產品。L-Series致力于真正的解決微流控設備開發者所遇到的難題：構造芯片系統和提供實用程序，Sartor說：“若是將襯質和芯片粘合在一起，需要經過長期的多次測試，”設計者若想改變流體通道，必須從頭開始。L-Series檢測組使內聯測試和假設分析實驗變得更簡單，測試一個新設計只要交換芯片即可。當前，L-Series設備只能在手動模式下運行，一次一個芯片，但是Cascade 正在考慮開發可平行操作多個芯片的設備。MEMS微流控芯片的微納米加工