半導體無塵車間的凈化標準有哪些？

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浙江甬潔凈化工程有限公司2023-07-19

半導體無塵車間的凈化標準主要包括以下幾個方面： 1. 空氣潔凈度：根據國際標準ISO 14644-1，半導體無塵車間的空氣潔凈度等級通常為ISO 5級（即100個顆粒直徑大于0.5微米的顆粒/立方米）或更高級別。 2. 溫度控制：半導體無塵車間的溫度通常需要精確控制在特定范圍內，以確保設備和工藝的穩定性。常見的溫度要求為20-24攝氏度。 3. 濕度控制：半導體無塵車間的濕度也需要精確控制，以防止濕度對設備和工藝的影響。常見的濕度要求為30-60%相對濕度。 4. 靜電控制：半導體無塵車間需要采取措施控制靜電的產生和積累，以防止靜電對半導體器件的損壞。常見的靜電控制措施包括使用防靜電地板、靜電消除器等。 5. 光照控制：半導體無塵車間的光照通常需要控制在適當的水平，以防止光照對設備和工藝的影響。常見的光照要求為300-500勒克斯。 6. 噪音控制：半導體無塵車間需要采取措施控制噪音水平，以保護工作人員的聽力和提供良好的工作環境。常見的噪音要求為65分貝以下。以上是一些常見的半導體無塵車間的凈化標準，具體標準可能會根據不同的工藝和要求而有所不同。