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如何選擇合適的快速退火爐載盤材質(zhì)?

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東莞市晟鼎精密儀器有限公司2024-05-10

碳化硅載盤是一種常用的材質(zhì),它采用碳化硅材料制成,適用于半導體制造過程中晶圓的承載容器。碳化硅載盤具有耐高溫、耐腐蝕、熱穩(wěn)定性好等特點,能夠在高溫環(huán)境下保持較好的性能穩(wěn)定性。此外,碳化硅載盤的控溫精細度較高,能夠確保晶圓在退火過程中受熱均勻,減少炸盤現(xiàn)象的發(fā)生。然而,碳化硅載盤的使用壽命會受到保養(yǎng)和使用環(huán)境的影響,如果不注意保養(yǎng)或者長時間處于化學物質(zhì)腐蝕的環(huán)境中,其壽命會減短。

東莞市晟鼎精密儀器有限公司
東莞市晟鼎精密儀器有限公司
簡介:晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐、等離子清洗機、等離子去膠機、接觸角測量等表面性能處理及檢測設(shè)備。
簡介: 晟鼎精密主營產(chǎn)品RTP快速退火爐、等離子清洗機、等離子去膠機、接觸角測量等表面性能處理及檢測設(shè)備。
退火爐+等離子
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其余 2 條回答

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    東莞市晟鼎精密儀器有限公司 2024-05-13

    石墨載盤材質(zhì)。石墨具有良好的導熱性和耐高溫性,適用于高溫快速退火爐。石墨載盤材質(zhì)能夠快速傳導熱量,使金屬材料均勻受熱,提高退火效果。

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    東莞市晟鼎精密儀器有限公司 2024-05-16

    氮化鋁載盤是另一種常見的材質(zhì),氮化鋁載盤的加熱速度非常快,能夠在短時間內(nèi)達到高溫,同時熱分布均勻,傳熱效果好,可大幅度縮短加熱時間和提高工作效率。

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