杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-05-22
使用標(biāo)準(zhǔn)缺陷試塊(如含已知尺寸空洞的硅晶圓)進(jìn)行日校,通過對(duì)比實(shí)際缺陷與成像結(jié)果調(diào)整增益與時(shí)間門。
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