廣東華芯半導體技術有限公司2025-05-27
支持。設備腔體內部尺寸可根據客戶需求定制,兼容從 50mm×50mm 小尺寸基板到 300mm 晶圓托盤的多樣化規格。廣東華芯半導體技術有限公司提供可調節的托盤支架和傳輸系統,確保不同尺寸工件在無氧環境中均勻受熱。
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