上海大載機電有限公司2025-07-02
集成氮空位色心傳感器:①位置檢測分辨率達0.1nm;②零漂移特性;③耐強電磁干擾。實現閥位控制精度±0.001mm,比傳統編碼器提高100倍,特別適合光刻機等精密裝備。
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