賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-03-08

溫度控制精度對于氧化退火爐極其重要。在氧化過程中，溫度偏差會直接影響氧化膜的生長速率和質量。溫度過高，氧化膜生長過快，可能導致膜層質量不穩定，出現洞孔、厚度不均勻等問題；溫度過低，氧化反應不完全，無法達到所需的氧化膜厚度。在退火過程中，溫度精度影響材料內部應力消除和晶體結構修復效果。如果溫度控制不準確，可能導致材料性能無法有效改善，甚至出現性能劣化。一般氧化退火爐的溫度控制精度需達到 ±1℃甚至更高，才能滿足半導體制造等對材料性能要求極高的行業需求。?

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