唯恒塬環(huán)保科技（蘇州）有限公司2025-06-23

半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)工件清洗的潔凈度要求極高，碳?xì)湔婵涨逑礄C(jī)需配備高精度的過(guò)濾系統(tǒng)，去除溶劑中的微小顆粒雜質(zhì)。清洗過(guò)程在無(wú)塵環(huán)境中進(jìn)行，防止外界顆粒污染工件。清洗后工件的表面離子殘留量需控制在極低水平，需對(duì)清洗后的工件進(jìn)行嚴(yán)格的檢測(cè)和分析，確保符合半導(dǎo)體制造工藝要求。

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