江蘇邁茨工業智能裝備有限公司2025-04-27
"在半導體制造設備中,電動缸發揮著重要作用。它可用于光刻機的工作臺定位,憑借高精度控制實現納米級的定位精度,確保芯片圖案的精確曝光。在晶圓傳輸設備中,電動缸能精細控制傳輸臂的運動,快速、平穩地抓取和移送晶圓,避免晶圓受損。此外,在刻蝕、鍍膜等工藝設備中,電動缸可精確調整工件的位置和角度,使工藝過程更加均勻和精確,助力提高半導體器件的制造質量和生產效率。
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