杭州杭坤機電設備有限公司2025-05-27

杭州杭坤機電設備有限公司的動靜壓主軸通過多尺度誤差補償技術達成微米級定位精度。其油腔采用超精密研磨工藝，表面粗糙度達納米級，減少油膜泄漏；供油系統集成高頻響比例閥與動態壓力傳感器，實現油膜厚度閉環控制。公司開發的誤差映射算法可實時修正幾何誤差、熱誤差與動態誤差，疊加空間插值補償技術消除局部偏差。某半導體設備企業應用后，晶圓鍵合精度明顯提升，滿足芯片封裝的高精度要求。

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