上海高傳電子科技有限公司2024-01-10

我們所接觸到的應用案例，實驗室厭氧箱，3D打印設備，半導體無氧烘箱，RTP快速退火爐，UV惰性固化設備，都是這樣的應用案例。 用戶操作就是先洗氣（置換掉腔室內氣體）到目標值，然后就是PID控制，氧濃度始終保持在1PPM，10PPM，或者100PPM，或者50PPM。當氧濃度稍微高出目標值，就打開閥門送入惰性氣體來維持腔室內低氧濃度。

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