則初(上海)機電設備有限公司2024-06-28
蔡司掃描電鏡的成像原理基于電子束與樣品的相互作用。
當電子槍發射出的電子束經過一系列電磁透鏡的聚焦和加速后,以極細的束斑掃描樣品表面。
當電子束與樣品相互作用時,會產生多種信號,其中主要包括二次電子和背散射電子。
二次電子是指被入射電子轟擊出來的能量較低的電子,其產額主要取決于樣品表面的形貌特征。樣品表面凸起部分產生的二次電子多,而凹陷部分產生的二次電子少。探測器收集這些二次電子并將其轉化為電信號,經過放大和處理后,**終在顯示屏上形成反映樣品表面形貌的圖像,具有較高的分辨率和立體感。
背散射電子是指被樣品原子反射回來的入射電子,其產額與樣品的平均原子序數有關。平均原子序數較高的區域產生的背散射電子多,在圖像中顯得較亮;平均原子序數較低的區域產生的背散射電子少,在圖像中顯得較暗。利用背散射電子成像可以反映樣品成分的差異。
通過對這些電子信號的收集和處理,蔡司掃描電鏡能夠為我們提供樣品表面微觀結構、形貌和成分等方面的詳細信息。
本回答由 則初(上海)機電設備有限公司 提供