江蘇欣豐昌系統工程有限公司2024-04-06
無塵車間的凈化級別主要根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。例如,國際無塵標準的A級要求將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在每立方米3500個以下。而在某些高標準的芯片生產加工中,微塵數量需要被嚴格控制在每立方米1000個以內。
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