馬波斯（上海）測量設備科技有限公司2023-03-03

馬波斯量儀配備多種傳感器，如厚度、力、扭矩、振動、加速度、實時功率、冷卻液流量和聲學傳感器，可提高設備的可靠性，并有助于確保穩定和高質量的生產。以STIL線傳感器為例，為了獲得三維圖像，可以使用不同類型的線傳感器，以較高頻率在定義的線路長度上執行同軸采集。馬波斯筆式傳感器，集成在夾具中，用于初始加工階段對晶圓厚度進行控制。

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