德國 Polos 光刻機系列的一大突出優勢,便是能夠輕松輸入任意圖案進行曝光。在科研工作中,創新的設計理念往往需要快速驗證,而 Polos 光刻機正滿足了這一需求。科研人員無需花費大量時間和成本制作掩模,只需將設計圖案導入系統,就能迅速開始光刻作業。? 在生物醫學工程領域,研究人員利用這一特性,快速制作出具有特殊結構的生物芯片,用于疾病診斷和藥物篩選。在材料科學研究中,可根據不同材料特性,定制獨特的圖案結構,探索材料的新性能。這種靈活的圖案輸入方式,remarkable縮短了科研周期,加速科研成果的產出,讓科研人員能夠將更多精力投入到創新研究中。德國技術基因:融合精密光學與自動化控制,確保設備高穩定性與長壽命。天津BEAM-XL光刻機可以自動聚焦波長
某人工智能芯片公司利用 Polos 光刻機開發了基于阻變存儲器(RRAM)的存算一體架構。其激光直寫技術在 10nm 厚度的 HfO?介質層上實現了 5nm 的電極邊緣控制,器件的電導均勻性提升至 95%,計算能效比達 10TOPS/W,較傳統 GPU 提升兩個數量級。基于該技術的邊緣 AI 芯片,在圖像識別任務中能耗降低 80%,推理速度提升 3 倍,已應用于智能攝像頭和無人機避障系統,相關芯片出貨量突破百萬片。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。遼寧POLOSBEAM-XL光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米微流體3D成型:復雜流道快速曝光,助力tumor篩查芯片與藥物遞送系統研發。
一家專注于再生醫學的科研公司在組織工程支架的研究上,使用德國 Polos 光刻機取得remarkable成果。組織工程支架需要具備特定的三維結構,以促進細胞的生長和組織的修復。Polos 光刻機能夠根據預先設計的三維模型,在生物可降解材料上精確制造出復雜的孔隙結構和表面圖案。通過該光刻機制造的支架,在動物實驗中表現出優異的細胞黏附和組織生長引導能力。與傳統制造方法相比,使用 Polos 光刻機生產的支架,細胞在其上的增殖速度提高了 50%,為組織工程和再生醫學的臨床應用提供了有力支持。
大尺寸晶圓的高效處理:Polos-BESM XL的優勢!Polos-BESM XL Mk2專為6英寸晶圓設計,寫入區域達155×155 mm,平臺重復性精度0.1 μm,滿足工業級需求。搭配20x/0.75 NA尼康物鏡和120 FPS高清攝像頭,實時觀測與多層對準功能使其成為光子晶體和柔性電子器件研究的理想工具。其BEAM Xplorer軟件簡化復雜圖案設計,內置高性能筆記本實現快速數據處理62。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。6英寸晶圓兼容:Polos-BESM XL Mk2支持155×155 mm大尺寸加工,工業級重復精度0.1 μm。
在構建肝臟芯片的血管化網絡時,某生物工程團隊使用 Polos 光刻機實現了跨尺度結構制備。其無掩模技術在 200μm 的主血管與 5μm 的blood capillary間precise銜接,血管內皮細胞貼壁率達 95%,較傳統光刻提升 30%。通過輸入 CT 掃描的真實肝臟血管數據,芯片成功模擬門靜脈與肝竇的血流梯度,使肝細胞功能維持時間從 7 天延長至 21 天。該技術為藥物肝毒性測試提供了接近體內環境的模型,某制藥公司使用后將候選藥物篩選周期縮短 40%,相關成果登上《Lab on a Chip》封面。低成本科研普惠:桌面化設計減少投入,無掩膜工藝降低中小型實驗室門檻。北京德國BEAM光刻機MAX層厚可達到10微米
Polos-BESM 光刻機:無掩模激光直寫,50nm 精度,支持金屬 / 聚合物同步加工,適配第三代半導體器件研發。天津BEAM-XL光刻機可以自動聚焦波長
在微流控芯片集成領域,某微機電系統實驗室利用 Polos 光刻機的多材料同步曝光技術,在同一塊 PDMS 芯片上直接制備出金屬電極驅動的氣動泵閥結構。其微泵通道寬度可控制在 20μm,流量調節精度達 ±1%,響應時間小于 50ms。通過軟件輸入不同圖案,可在 10 分鐘內完成從連續流到脈沖流的模式切換。該芯片被用于單細胞代謝分析,實現了單個tumor細胞葡萄糖攝取率的實時監測,檢測靈敏度較傳統方法提升 3 倍,相關設備已進入臨床前驗證階段。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。天津BEAM-XL光刻機可以自動聚焦波長
SPS POLOS μ以桌面化設計降低設備投入成本,無需掩膜制備費用。其光束引擎通過壓電驅動快速掃描,單次寫入區域達400 μm,支持光刻膠如AZ5214E的高效曝光。研究案例顯示,該設備成功制備了間距3 μm的微圖案陣列和叉指電容器,助力納米材料與柔性電子器件的快速原型驗證。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。德國 SPS Polos:深耕微納加工 35 年,專注半導體與生命科學領域,全球布局 6 大技術中心,服務 500...